[发明专利]一种微腔等离子体晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201811125596.2 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109346518B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王耀功;周琛捷;张小宁;周璇;王文江 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L29/772 | 分类号： | H01L29/772;H01L21/336 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微腔等离子体晶体管及其制备方法，微腔等离子体晶体管包括衬底、底电极、源电极、漏电极、微腔腔体、绝缘层、介质板和顶电极，导电媒介为微腔等离子体，通过微腔气体放电的方式产生，以微腔等离子体为媒介进行电流传导，实现驱动开关功能。微腔等离子体晶体管的制备方法，采用物理沉积的方式在衬底背面制备底电极，通过刻蚀的方式在衬底上获得微腔腔体，采用物理沉积的方式制备源电极、漏电极和栅极，最后通过封装的方法，形成带有微腔结构的等离子体晶体管器件。本发明所述的微腔等离子体晶体管器件相较于传统的晶体管器件，可有效提高晶体管器件在高温、高辐射、强电磁干扰下工作稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微腔等离子体晶体管，其特征在于，包括：底电极(110)、衬底(100)、介质板(140)和作为栅极的顶电极(150)；底电极(110)设在衬底(100)的底面，介质板(140)设在衬底(100)的顶面，顶电极(150)位于介质板(140)的顶面；在衬底(100)中开设有微腔腔体(123)，衬底(100)的顶面和微腔腔体(123)的内表面上均涂覆有绝缘层(130)；在微腔腔体(123)内设有源电极(121)和漏电极(122)，源电极(121)和漏电极(122)相对而设，且在微腔腔体(123)与介质板(140)所形成的密封空间内填充有用于产生微腔等离子体的放电气体；源电极(121)由外接直流电源VS驱动，漏电极(122)由外接直流电源VD驱动，顶电极(150)与底电极(110)通过外接交流电源VG连通，当VG大于放电气体的着火电压时，微腔腔体(123)内产生微腔等离子体，使源电极(121)和漏电极(122)导通。
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