[发明专利]分区对位模式的拼版曝光装置及其曝光方法在审
| 申请号： | 201811125799.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109270809A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;徐乡;王志 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 刘洋 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学设备领域，解决现有技术的PCB板曝光设备曝光效率低的问题。包括有底座，设置在底座上曝光平台，用于PCB板Mark点识别的摄像头，以及PCB板曝光的曝光装置，曝光平台上分别设有两组用于放置PCB板的左PCB板定位条和右PCB板定位条，摄像头支架上对应左曝光区和右曝光区分别设有一个摄像头，摄像头滑动设置在摄像头支架上；曝光装置支架上对应左曝光区和右曝光区分别设有一个以上的曝光装置，底座上设有驱动曝光平台垂直摄像头支架和曝光装置支架移动的曝光平台驱动机构。可以同时对两块PCB板进行mark取点，同时对两块PCB板曝光，增加曝光平台利用率，同时提高了曝光效率，提升了制板产能。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光平台 曝光装置 曝光区 摄像头支架 摄像头 底座 曝光效率 定位条 曝光 光学设备 滑动设置 曝光设备 驱动机构 支架移动 右PCB板 左PCB板 产能 对位 两组 拼版 取点 支架 制板 垂直 分区 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种分区对位模式的拼版曝光装置，包括有底座，设置在底座上曝光平台，用于PCB板Mark点识别的摄像头，以及PCB板曝光的曝光装置，其特征在于：所述的曝光平台上分别设有两组用于放置PCB板的左PCB板定位条和右PCB板定位条，两组定位条把曝光平台分成左曝光区和右曝光区，左PCB板定位条和右PCB板定位条上分别设有用于把PCB板吸附到左PCB板定位条和右PCB板定位条上定位的定位吸头，所述的底座设有横跨曝光平台的摄像头支架和曝光装置支架，所述的摄像头支架上对应左曝光区和右曝光区分别设有一个摄像头，摄像头滑动设置在摄像头支架上；所述的曝光装置支架上对应左曝光区和右曝光区分别设有一个以上的曝光装置；所述的底座上设有驱动曝光平台垂直摄像头支架和曝光装置支架移动的曝光平台驱动机构。
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