[发明专利]一种镁合金表面DLC防护涂层制备方法

摘要

一种镁合金表面DLC防护涂层制备方法，本发明涉及材料表面处理技术领域，具体涉及一种镁合金表面DLC防护涂层制备方法。本发明是要解决现有镁合金耐蚀性能差，强度低的问题。方法：一、镁合金表面粗糙化处理；二、溅射清洗；三、Si过渡层制备；四、Si‑DLC膜制备。本发明用于制备镁合金表面DLC防护涂层。

主权项

1.镁合金表面DLC防护涂层制备方法，其特征在于镁合金表面DLC防护涂层制备方法是按以下步骤进行：一、镁合金表面粗糙化处理：采用砂纸对镁合金试样表面进行处理，超声波清洗，干燥后得到待刻蚀试样，将待刻蚀试样在室温下浸入0.1mol/L硝酸溶液中进行刻蚀处理，然后在无水乙醇溶液中超声清洗除去表面残留反应生成物，吹干，得到待溅射试样；二、溅射清洗：将待溅射试样放入真空室内，抽真空，待真空室内的真空度小于10‑3Pa时，通入氩气或混合气体至真空室内的真空度为1～3Pa，开启高频高压脉冲电源，调整高压脉冲电源输出，溅射清洗待溅射试样；所述混合气体为氩气和氢气的混合；三、Si过渡层制备：向真空室内通入含Si元素气体1～5s，开启高频高压脉冲电源，形成含Si过渡层；四、Si‑DLC膜制备：向真空室内通入碳前驱体和含有硅元素的气体完成Si‑DLC涂层的制备，得到DLC防护的镁合金。