[发明专利]电化学测定用室有效
| 申请号： | 201811127672.3 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109632898B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 长岛真也;五十井俊广;加藤久雄 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N27/30 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 陈冠钦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及电化学测定用室。电化学测定用室是用于利用透过了观察窗的电子束进行测定的电化学测定用室，其特征在于，将观察用MEMS芯片与密封用MEMS芯片间隔地配置，该观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在薄膜上设置了工作电极和对电极，该密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板，在上述区域中形成包含薄膜的观察窗，工作电极与两者层叠体中的观察窗重叠，并且在观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 测定 | ||
【主权项】：
1.电化学测定用室，用于采用透过了观察窗的电子束进行的测定，其特征在于，包含：观察用MEMS芯片和密封用MEMS芯片，其中上述观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在上述薄膜上设置工作电极和对电极，上述密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，上述观察用MEMS芯片与上述密封用MEMS芯片间隔地配置，在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板，在上述区域中形成包含上述薄膜的观察窗，上述工作电极与两者层叠体中的上述观察窗重叠，并且在上述观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于丰田自动车株式会社，未经丰田自动车株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811127672.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种导电纤维丝束的损伤检测方法
- 下一篇：一种精确可控的纳米孔制造方法
