[发明专利]一种多层纳米纤维化学机械抛光垫

摘要

本发明公开了一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其结构包括自动固定装置、连接块、通孔、固定栓、多层纳米纤维化抛光垫、防滑纹，自动固定装置安装在连接块内部，连接块后端与多层纳米纤维化抛光垫前端固定连接，通孔设于连接块中心，连接块侧面装有防滑纹，固定栓按照相同角度依次排列于连接块内部；自动固定装置由减震装置、传动控制装置、左固定装置、缓冲装置、驱动装置、左固定装置、卡位装置组成，该装置内部能够自动进行收缩固定，抛光垫就能够通过该装置快速固定于抛光机的转头上，同时该装置固定的程度更加稳定，也更容易进行拆卸，这样能够增加工作人员使用的便捷性。

主权项

1.一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其结构包括自动固定装置、连接块、通孔、固定栓、多层纳米纤维化抛光垫、防滑纹，其特征在于：所述自动固定装置安装在连接块内部，所述连接块后端与多层纳米纤维化抛光垫前端固定连接，所述通孔设于连接块中心，所述连接块侧面装有防滑纹，所述固定栓按照相同角度依次排列于连接块内部；所述自动固定装置由减震装置、传动控制装置、左固定装置、缓冲装置、驱动装置、左固定装置、卡位装置组成；所述减震装置底部与左固定装置顶部垂直连接，所述左固定装置顶部左端连接到传动控制装置右端底部前侧，所述左固定装置底部与缓冲装置顶部贴合连接，所述驱动装置左端前侧与左固定装置右端后侧面相啮合，所述卡位装置顶端内部与左固定装置左端底侧活动连接。