[发明专利]一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置在审
| 申请号： | 201811132930.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109205307A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 喻信东;陶自稳 | 申请（专利权）人： | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G49/06;B65B35/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置，包括基座和安装在基座的支架，所述支架的顶端安装有校正装置，其特征在于：所述校正装置包括真空吸嘴和夹持装置，所述夹持装置包括以真空吸嘴为中心对称分布的夹头和为夹头提供动力的伺服电机，所述夹头位于真空吸嘴的上方，所述支架上设置有用于检测真空吸嘴气流变化的真空流量计，所述基座上安装有用于控制伺服电机的真空电磁阀。本发明构简单、操作方便、稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空吸嘴 夹头 支架 自动调校装置 夹持装置 石英晶体 校正装置 微纳米 流量计 控制伺服电机 中心对称分布 真空电磁阀 顶端安装 气流变化 伺服电机 检测 | ||
【主权项】：
1.一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置，包括基座（1）和安装在基座（1）的支架（2），所述支架（2）的顶端安装有校正装置（3），其特征在于：所述校正装置（3）包括真空吸嘴（4）和夹持装置（5），所述夹持装置（5）包括以真空吸嘴（4）为中心对称分布的夹头（6）和为夹头（6）提供动力的伺服电机（7），所述夹头（6）位于真空吸嘴（4）的上方，所述支架（2）上设置有用于检测真空吸嘴（4）气流变化的真空流量计（8），所述基座（1）上安装有用于控制伺服电机（7）的真空电磁阀（9）。
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