[发明专利]高电压电容器、包括电容器的系统以及制造电容器的方法

摘要

本公开的实施例涉及高电压电容器、包括电容器的系统以及制造电容器的方法。在各种实施例中，本公开内容提供了电容器和形成电容器的方法。在一个实施例中，电容器包括衬底、衬底上的第一电极、第二电极和第一电介质层。第一电极的一部分暴露在接触区域中。第一电介质层包括第一电介质区域和第二电介质区域，第一电介质区域在第一电极和第二电极之间，第二电介质区域在第一电介质区域和接触区域之间。第二电介质区域与第一电介质区域相邻，并且第二电介质区域的表面限定第一电极和接触区域之间的表面路径。第二电介质区域具有多个沟槽，多个沟槽增加上述表面路径的空间延伸。

主权项

1.一种电容器，包括：衬底；所述衬底上的第一电极，所述第一电极的一部分被暴露在接触区域中；第二电极；以及第一电介质层，包括在所述第一电极和所述第二电极之间的第一电介质区域，和在所述第一电介质区域和所述接触区域之间的第二电介质区域，所述第二电介质区域与所述第一电介质区域相邻，所述第二电介质区域的表面限定所述第一电极和所述接触区域之间的表面路径，其中所述第二电介质区域具有多个沟槽，所述多个沟槽增加所述表面路径的空间延伸。