[发明专利]磁分析器单元在审
申请号: | 201811136620.2 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109300756A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 杨健;李天慧;黄晓橹 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | H01J37/05 | 分类号: | H01J37/05;H01J37/317 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 周衡威 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本公开涉及一种磁分析器单元。该磁分析器单元包括:接收端开口,该接收端开口被构造为接收来自离子源的离子流;输出端开口,该输出端开口被构造为输出该离子流中的具有特定质荷比的离子;离子通道,该离子通道连接该接收端开口与该输出端开口,并且该离子通道包括至少一个U形通道区段;其中,该至少一个U形通道区段被布置在磁场中,该磁场被配置为使得具有特定质荷比的该离子能够通过该至少一个U形通道区段。 | ||
搜索关键词: | 开口 磁分析器 离子通道 接收端 输出端 离子流 质荷比 磁场 离子 离子源 输出 配置 | ||
【主权项】:
1.一种磁分析器单元,其特征在于,所述磁分析器单元包括:接收端开口,所述接收端开口被构造为接收来自离子源的离子流;输出端开口,所述输出端开口被构造为输出所述离子流中的具有特定质荷比的离子;离子通道,所述离子通道连接所述接收端开口与所述输出端开口,并且所述离子通道包括至少一个U形通道区段;其中,所述至少一个U形通道区段被布置在磁场中,所述磁场被配置为使得具有特定质荷比的所述离子能够通过所述至少一个U形通道区段。
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