[发明专利]一种靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201811138751.4 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109207947B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 李喜峰;杨祥;姜姝;潘成超;蒋文亚;李阿杰;谈艳阳 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 201900*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材的制备方法，其步骤包括依次制备粉末氧化物、球磨料、坯料、靶材坯体、靶材成品；其中靶材原料通过冷等静压成形得到靶材坯体，将靶材坯体放在氧气和空气的混合气氛下进行阶段升温烧结，烧结时混合气氛中的氮气和氧气补充了靶材烧结过程中氧化物的氧化还原过程，能够减少靶材的宏观及微观空隙，减少靶材裂纹和缺陷，减少后期磁控溅射时的靶材结瘤现象。本发明制备的ITO靶材相对致密度为99.7％，电阻率为1.38μΩ·cm，使用该靶材进行磁控溅射时贴合率达到99％，连续溅射100h后靶材表面结瘤率不超过10％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将靶材原料熔化后依次进行爆破成形、分级处理和退火处理，得到粉末氧化物；(2)将所述步骤(1)得到的粉末氧化物和水混合后进行纳米球磨，得到球磨料；(3)将所述步骤(2)得到的球磨料进行喷雾造粒，得到坯料；(4)将所述步骤(3)得到的坯料依次进行液压成形、真空封装和冷等静压成形处理，得到靶材坯体；(5)将所述步骤(4)得到的靶材坯体进行烧结，得到靶材；所述烧结在氧气和空气的混合气氛下进行；所述烧结的压力为1.4～1.6atm。
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