[发明专利]基于桥式放大机构的三自由度大行程高精度微定位平台

摘要

本发明公开了一种基于桥式放大机构的三自由度大行程高精度微定位平台，包括基座和设置在其内部的XY平台，所述基座和所述XY平台通过四个沿所述XY平台的周向均布的平动放大机构连接，相邻的两个所述平动放大机构，一个采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动，另一个采用压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动，在所述XY平台的中部设有Z向安装孔，在所述Z向安装孔内穿装有Z向平动机构。本发明基于桥式放大机构，并联和串联相结合，搭载三个压电陶瓷驱动器，实现了XYZ三个方向的高精度、大行程平动，并且具有较高的工作带宽和固有频率。

主权项

1.一种基于桥式放大机构的三自由度大行程高精度微定位平台，其特征在于，包括基座和设置在其内部的XY平台，所述基座和所述XY平台通过四个沿所述XY平台的周向均布的平动放大机构连接，相邻的两个所述平动放大机构，一个采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动，另一个采用压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动；在所述XY平台的中部设有Z向安装孔，在所述Z向安装孔内设有Z向桥式放大机构，在所述Z向桥式放大机构内安装有压电陶瓷驱动器Ⅲ，所述Z向桥式放大机构的上端通过球与传力板连接，所述传力板通过Z向导向机构与终端平台连接，所述Z向导向机构包括上下两个Z向导向环，所述Z向导向环设有内环和外环，所述Z向导向环内环和外环通过多根沿周向均布的薄壁杆连接，在两个所述Z向导向环之间设有Z向支撑外环和Z向支撑内环，所述传力板与两个所述Z向导向环的内环以及所述Z向支撑内环和所述终端平台固接在一起；两个所述Z向导向环的外环和所述Z向支撑外环固接在一起，两个所述Z向导向环的薄壁杆上下重叠放置，上下重叠放置的薄壁杆形成平行四边形机构；所述Z向桥式放大机构的下端固接在Z向支撑底板上，所述Z向支撑底板固接在所述XY平台上，在所述XY平台与所述Z向支撑底板之间设有Z向支撑环和Z向调整垫片组。