[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 201811139185.9 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109604183A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 福山智博 | 申请（专利权）人： | 新东超精密有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/38 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供检查装置及检查方法，能够在检查金属掩模片之后将金属掩模片分等级地收容。该检查装置是检查向金属掩模框架安装前的金属掩模片的检查装置(2)，具备：测定部(8)，测定形成于所述金属掩模片的管理点；等级判定部，基于所述测定部的测定结果来将所述金属掩模片分等级；及搬运部(24)，基于由所述等级判定部判定的所述金属掩模片的等级来将所述金属掩模片向收容按所述等级区分的所述金属掩模片的收容部(22)搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩模 检查装置 收容 等级判定部 检查 搬运 框架安装 判定 管理 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，是检查向金属掩模框架安装前的金属掩模片的检查装置，其特征在于，具备：测定部，测定形成于所述金属掩模片的管理点；等级判定部，基于所述测定部的测定结果来将所述金属掩模片分等级；及搬运部，基于由所述等级判定部判定的所述金属掩模片的等级来将所述金属掩模片向收容按所述等级区分的所述金属掩模片的收容部搬运。
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