[发明专利]基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法在审
| 申请号： | 201811139410.9 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109164111A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 丁辉;李家奇;晏井利 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 210096 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法，装备用于对打印设备进行在线缺陷检测，它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统以及激光超声接收系统，激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜，第一振镜组件为打印设备中的振镜组件。本发明振镜采用打印机自带的振镜系统，只需在打印激光器和检测激光器之间设置光路切换开关即可，检测系统可以省去发射系统中的振镜，不仅能有效降低设备的制造成本，还能免去打印机自带的振镜对检测系统需要的振镜造成的安装上的不便，不会带来多组振镜相互干涉的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 振镜 发射系统 激光超声 振镜组件 激光器 打印设备 检测系统 缺陷检测 在线激光 全覆盖 打印机 自带 扫描 光路切换开关 在线缺陷检测 降低设备 接收系统 振镜系统 制造成本 打印层 聚焦镜 扩束镜 准直器 共享 打印 干涉 检测 制造 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备，其用于对打印设备进行在线缺陷检测，它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统、激光超声接收系统以及光路切换开关，其特征在于：所述激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜，所述第一振镜组件为打印设备中的振镜组件中的一组，所述激光超声接收系统包括第二激光器、将激光分为参考光和信号光的分束镜和波片组件、接收激光信号并对信号进行采集分析的接收分析部。
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