[发明专利]激光装置

摘要

本发明提供激光装置。激光装置有：冷却能力控制设备，其控制受热冷却部的冷却能力；包围构件，其包围包含发热部的防止结露对象部，与发热部温度上升连动地成为比壳体内最高露点温度高的包围构件平衡温度；及温度检测设备，其检测包围构件的温度，在向激光电源部输出电流输出指令期间，控制部比较包围构件温度与预先设为比包围构件平衡温度低的切换温度，比切换温度低时，控制冷却能力控制设备使受热冷却部的冷却能力成为低水准，为切换温度以上时，控制冷却能力控制设备使受热冷却部的冷却能力成为标准水准或者比标准水准高的高水准。

主权项

1.一种激光装置，该激光装置具有壳体，并且在所述壳体的内部具有至少一个以上的激光振荡器以及向所述激光振荡器供给电流的一个以上的激光电源部，所述激光振荡器具有：一个以上的发热部，其由于激光振荡而发热；以及一个以上的受热冷却部，其至少与包含所述发热部的防止结露对象部热连接，且具有冷却水流路，在该冷却水流路中，流动有用于冷却所述防止结露对象部的冷却水，在所述冷却水流路连接有用于流动冷却水的冷却水配管系统，并且，所述激光装置具有：一个以上的冷却能力控制部件，其用于控制利用在所述冷却水配管系统流动的冷却水冷却所述受热冷却部的冷却能力；控制部，其至少控制所述冷却能力控制部件以及所述激光电源部；包围构件，其接近所述防止结露对象部地包围所述防止结露对象部；以及至少一个以上的温度检测部件，其检测所述包围构件的预定部位的温度，作为其检测结果，将包围构件温度输出至所述控制部，所述包围构件构成为，在所述激光装置或者所述激光振荡器射出标准光输出的激光，利用所述冷却能力控制部件将冷却所述受热冷却部的冷却能力控制在标准水准的标准驱动条件下驱动并达到实质性平衡状态的状态下，与所述发热部的温度上升连动地，成为比相对于所述壳体的内部的空气而言预想的最高露点温度高的包围构件平衡温度，所述控制部在向所述激光电源部输出电流输出指令的期间，将利用所述温度检测部件检测到的所述包围构件温度与预先设定为比所述包围构件平衡温度低的切换温度相比较，在所述包围构件温度比所述切换温度低时，控制所述冷却能力控制部件，使冷却所述受热冷却部的冷却能力成为比所述标准水准低的低水准，在所述包围构件温度为所述切换温度以上时，控制所述冷却能力控制部件，使冷却所述受热冷却部的冷却能力成为所述标准水准或者成为比所述标准水准高的高水准。