[发明专利]基于准LIGA工艺的超薄型金刚石砂轮片的制造方法

摘要

基于准LIGA工艺的超薄型金刚石砂轮片的制造方法，先进行阴极基板的制作，通过匀胶在基板上旋涂一层光刻胶薄膜，经过UV光刻显影坚膜工艺在光刻胶薄膜上形成微孔阵列薄膜，然后在微孔阵列薄膜表面镀一层导电薄膜，通过UV光刻工艺在微孔阵列薄膜上形成掩蔽层，微孔阵列薄膜上未被掩蔽层掩蔽的区域为砂轮片形状；再进行复合电铸工艺，电铸溶液中的金刚石磨料及金属离子在阴极基板的砂轮片图案位置均匀共析，得到复合电铸层；最后进行复合电铸层与阴极基板分离，得到砂轮片；本发明实现了金刚石砂轮片的一体化成型制造，砂轮片两面裸露金刚石颗粒，两面的切割能力基本均匀对称，可直接使用；所制造的砂轮片断面跳动小，成本低且切割精度与效率高。

主权项

1.基于准LIGA工艺的超薄型金刚石砂轮片的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1)阴极基板的制作：首先通过匀胶在基板上旋涂一层光刻胶薄膜，经过UV光刻显影坚膜工艺在光刻胶薄膜上形成微孔阵列薄膜，然后再在微孔阵列薄膜表面镀一层导电薄膜；最后通过UV光刻工艺在微孔阵列薄膜上形成掩蔽层，微孔阵列薄膜上未被掩蔽层掩蔽的区域为所需规格砂轮片形状；2)复合电铸工艺：将步骤1)所制作的阴极基板作为阴极，镍板作为阳极放入氨基磺酸镍‑金刚石复合电铸溶液中，并将阴极基板接直流电源负极，将镍板接直流电源正极，接通电源，则电铸溶液中的金刚石磨料及金属离子在阴极基板未被掩蔽层掩蔽的砂轮片图案位置均匀共析，得到复合电铸层，控制电铸时间能够控制复合电铸层的厚度；3)复合电铸层与阴极基板分离：将电铸有复合电铸层的阴极基板清洗烘干后使用相应的光刻胶腐蚀液腐蚀光刻胶，待光刻胶被腐蚀后，复合电铸层与阴极基板自动分离，从而直接得到所需尺寸规格的砂轮片。