[发明专利]一种低击穿电压雪崩光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公布了一种低击穿电压雪崩光电探测器及其制备方法，一种低击穿电压雪崩光电探测器包括：衬底、吸收层、倍增层、p⁺层、保护层、n型电极、p型电极，一种低击穿电压雪崩光电探测器制备方法包括：PN结制备、制备保护层、制备电极。本发明通过优化各层厚度和掺杂浓度、分离吸收层和倍增层、优化结构来提高器的件可见盲性、量子效率、灵敏度、响应速度并降低击穿电压，提供一种击穿电压低、优化各层厚度与掺杂浓度、灵敏度更高、量子效率更高、响应速度快、吸收层与倍增层分离、可见盲性更好的低击穿电压雪崩光电探测器及其制备方法。

主权项

1.一种低击穿电压雪崩光电探测器，其特征在于：包括：衬底(1)、吸收层(2)、倍增层(3)、p+层(4)、保护层(5)、n型电极(6)、p型电极(7)。