[发明专利]一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201811144477.1 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109252142A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陈德宏;吴道高;何金江;钟嘉珉;闫缓;庞思明;张小伟;苗睿瑛;杨宏博;杨秉政 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C1/03 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100088 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于铝钪合金技术领域的一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用。本发明通过冷坩埚悬浮熔炼结合变频电磁搅拌制备的铝钪合金靶坯氧含量＜100ppm，铝、钪元素的质量百分数之和＞99.95％，纯度高且氧含量低，利于后期高质量成膜；铝钪合金靶坯中二次析出相体积百分数为5～25％，平均尺寸为20～45μm，外形为多边形和近球形，微观组织均匀，靶坯致密度得到显著提高，能有效避免铸锭和变形加工过程中微裂纹等内部缺陷的形成，显著提高靶材品质及成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 铝钪合金 制备方法和应用 冷坩埚悬浮熔炼 体积百分数 质量百分数 变频电磁 变形加工 内部缺陷 微观组织 成品率 近球形 微裂纹 析出相 靶材 成膜 铸锭 制备 | ||
【主权项】：
1.一种铝钪合金靶坯，其特征在于，所述铝钪合金靶坯中二次析出相的体积百分数为5～25％、平均尺寸为20～45μm、外形为多边形和近球形；所述二次析出相中，团聚体体积百分数＜30％，近球形体积百分数大于60％；所述铝钪合金靶坯的氧含量＜100ppm，铝、钪元素的质量百分数之和＞99.95％。
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