[发明专利]一种用于探针退火处理的精准控温装置及方法在审
| 申请号： | 201811144967.1 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN108949509A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王锐;杜江涛;万忠民;周飚;谭国甫;陈曦;黄泰明 | 申请（专利权）人： | 深圳市艺盛科五金电子有限公司 |
| 主分类号： | C12M1/00 | 分类号： | C12M1/00;C12M1/38;C12M1/34 |
| 代理公司： | 成都天汇致远知识产权代理事务所(普通合伙) 51264 | 代理人： | 韩晓银 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于探针退火处理的精准控温装置及方法,该装置包括加热腔、阵列式加热管组、控制系统和升降系统，阵列式加热管组和升降系统设置在加热腔内，并且阵列式加热管组位于升降系统正上方；阵列式加热管组由若干根长加热管和若干根短加热管组成；控制系统包括彼此相连的PLC控制器和可控硅，可控硅分别与长加热管和短加热管连接；加热腔侧壁上还设有探针放入口。方法包括：利用有限元模拟软件确定阵列式加热管组中长加热管和短加热管的数量以及阵列排布方式；将探针放置在升降系统上并调节探针高度；通过PLC控制器和可控硅控制长加热管加热温度；同时根据加热腔内的温度场分布情况，通过PLC控制器和可控硅控制短加热管加热温度。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列式加热 管组 探针 短加热管 升降系统 加热管 加热腔 可控硅控制 控温装置 控制系统 退火处理 可控硅 加热 加热腔侧壁 温度场分布 模拟软件 阵列排布 放入口 | ||
【主权项】：
1.一种用于探针退火处理的精准控温装置，其特征在于，包括加热腔、阵列式加热管组、控制系统和升降系统，所述阵列式加热管组和所述升降系统设置在所述加热腔内，并且所述阵列式加热管组位于所述升降系统正上方；所述阵列式加热管组由若干根长加热管和若干根短加热管组成；所述控制系统包括彼此相连的PLC控制器和可控硅，所述可控硅分别与所述阵列式加热管组的长加热管和短加热管连接；所述加热腔侧壁上还设有探针放入口。
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