[发明专利]基板加工装置在审
| 申请号： | 201811145215.7 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109571789A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 谷垣内平道;中田胜喜 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D7/00;C03B33/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对于利用夹持装置支承基板并进行加工的基板加工装置，本发明提供一种能够不损伤基板且精度良好地支承的基板加工装置。基板加工装置具备：带(11)，其输送脆性材料基板；夹持装置(40)，其夹持被载置到带(11)上的脆性材料基板。夹持装置(40)具备：基板支承部(51)，其从下方支承脆性材料基板；臂(57)，其相对于基板支承部(51)旋转或移动，在其与基板支承部(51)之间夹入脆性材料基板，所述臂的至少与所述脆性材料基板接触的面由弹性材料形成，所述基板支承部的至少与所述脆性材料基板接触的面由金属形成。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性材料基板 基板加工装置 基板支承部 夹持装置 金属形成 支承基板 基板 夹持 夹入 载置 支承 损伤 移动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基板加工装置，其中，所述基板加工装置具备：带，其输送脆性材料基板；以及夹持装置，其夹持被载置到所述带上的所述脆性材料基板；所述夹持装置具备：基板支承部，其从下方支承所述脆性材料基板；以及臂，其相对于所述基板支承部移动而在该臂与所述基板支承部之间夹入所述脆性材料基板，所述臂的至少与所述脆性材料基板接触的面由弹性材料形成，所述基板支承部的至少与所述脆性材料基板接触的面由金属形成。
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