[发明专利]一种溅射靶材的清洁方法及装置有效
| 申请号： | 201811145384.0 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109295427B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;刘伟文;陈丹丹;林海华;彭绍文 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B08B7/00;B08B15/04;B24B1/00;B24B55/06;B24D18/00;B24D99/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹秀;王宝筠 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材的清洁方法及清洁装置，该清洁方法包括利用海绵砂块的第一面对靶材的溅射面的第一区域进行第一次打磨，去除第一区域的氧化物；对第一次打磨过程中产生的打磨杂质进行第一静电吸附，去除第一次打磨过程中产生的打磨杂质；利用海绵砂块的第二面对靶材的溅射面进行第二次打磨，海绵砂块第二面的粗糙度小于海绵砂块第一面的粗糙度；对第二次打磨过程中产生的打磨杂质进行第二静电吸附，去除第二次打磨过程中产生的打磨杂质；对靶材进行烘烤；对靶材的溅射面进行等离子处理，对靶材的溅射面进行第三次打磨。通过该方法清洁靶材，可以获得更加平整的表面，避免出现尖端放电现象，并且不会造成车间污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材的清洁方法，其特征在于，包括：利用海绵砂块的第一面对靶材的溅射面的第一区域进行第一次打磨，去除所述第一区域的氧化物；对所述第一次打磨过程中产生的打磨杂质进行第一静电吸附，去除所述第一次打磨过程中产生的打磨杂质；利用所述海绵砂块的第二面对所述靶材的溅射面进行第二次打磨，所述海绵砂块第二面的粗糙度小于所述海绵砂块第一面的粗糙度；对所述第二次打磨过程中产生的打磨杂质进行第二静电吸附，去除所述第二次打磨过程中产生的打磨杂质；对所述靶材进行烘烤；对所述靶材的溅射面进行等离子处理，对所述靶材的溅射面进行第三次打磨。
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