[发明专利]具有光焦度监测的可变焦距透镜系统

摘要

提供了一种可变焦距(VFL)透镜系统，包含VFL透镜、VFL透镜控制器、物镜、相机和光焦度监测配置。在标准工件成像模式期间，物镜将工件光沿着成像光学路径穿过VFL透镜透射到相机，这提供对应的工件图像曝光。在光焦度监测模式期间，光焦度监测配置产生所监测的束图案，束图案沿着成像光学路径的穿过VFL透镜到相机的至少一部分行进，这提供监测图像曝光。在VFL透镜的周期性调制的不同相位定时处获得不同的监测图像曝光，并且在每个监测图像曝光中测量与在对应的相位定时处的VFL透镜的光焦度相关的所监测的束图案的尺寸。

主权项

1.一种可变焦距透镜系统，包括：可变焦距透镜；可变焦距透镜控制器，所述可变焦距透镜控制器控制所述可变焦距透镜，以在操作频率下在光焦度的范围上周期性地调制所述可变焦距透镜的光焦度；物镜，所述物镜输入在工件成像模式期间从工件表面产生的工件光，并且沿穿过所述可变焦距透镜的成像光学路径透射所述工件光；相机，所述相机接收在所述工件成像模式期间沿着所述成像光学路径由所述可变焦距透镜透射的所述工件光，并且提供对应的工件图像曝光；以及光焦度监测配置，包括监测束发生器，所述监测束发生器包括光源和束图案元件，所述束图案元件输入来自所述光源的光并输出所监测的束图案，其中：所述光焦度监测配置在光焦度监测模式期间沿着所述成像光学路径的至少一部分透射所述所监测的束图案，以穿过所述可变焦距透镜行进到所述相机；所述相机提供至少第一监测图像曝光，所述第一监测图像曝光包含在所述光焦度监测模式期间所述可变焦距透镜的周期性调制的至少第一相位定时期间的所述所监测的束图案；并且所述第一监测图像曝光中的所述所监测的束图案的尺寸与所述第一相位定时期间所述可变焦距透镜的光焦度相关。