[发明专利]形成膜的方法

摘要

在本发明主题的第一方面中，形成膜的方法包括将至少包括第一化学元素和第二化学元素的原料转化成雾化的液滴；通过使用载气将至少包括第一化学元素和第二化学元素的雾化的液滴携带在物体上；和使雾化的液滴反应而在物体上形成至少包括第一化学元素和第二化学元素的膜。第一化学元素选自周期表的14族元素和15族元素。第二化学元素选自周期表的d区元素、13族元素和14族元素并且与第一化学元素不同。

主权项

1.一种形成膜的方法，所述方法包括：使至少包括第一化学元素和第二化学元素的原料转化成雾化的液滴，所述第一化学元素选自周期表的14族元素和15族元素，且所述第二化学元素选自周期表的d区元素、13族元素和14族元素并且与所述第一化学元素不同；通过使用载气，将至少包括所述第一化学元素和所述第二化学元素的所述雾化的液滴携带在物体上；和使所述雾化的液滴反应，从而在所述物体上形成至少包括所述第一化学元素和所述第二化学元素的膜。