[发明专利]一种具有耐腐蚀性能的四元硬质陶瓷涂层及其制备方法和器件

摘要

本发明公开了一种具有耐腐蚀性能的四元硬质陶瓷涂层，所述涂层的组成为ZrxCuyAlzN100‑x‑y‑z，其中x，y，z为原子比，x＝38.8～46.4，y＝15.9～17.4，z＝4.7～7.1，涂层致密且无柱状晶结构，涂层由ZrN晶相和非晶相两相复合而成；本发明还公开了上述四元硬质陶瓷涂层的制备方法，采用磁控反应溅射法制得，在氮源存在的情况下，辅助射频叠加直流的电源施加方式，无需加热，制备了具有耐腐蚀性能的四元硬质陶瓷涂层，消除了柱状晶结构带来的贯穿性孔隙等缺陷；该结构特征使得该涂层具有较高硬度的同时表现出较好的耐腐蚀性。本发明同时公开了一种具有上述四元硬质耐腐陶瓷涂层的器件，该器件具有良好的耐腐蚀性能。

主权项

1.一种具有耐腐蚀性能的四元硬质陶瓷涂层，其特征在于，所述涂层的组成为ZrxCuyAlzN100‑x‑y‑z，其中x，y，z为原子比，x＝38.8～46.4，y＝15.9～17.4，z＝4.7～7.1，涂层致密且无柱状晶结构，涂层由ZrN晶相和非晶相两相复合而成。