[发明专利]一种显示面板的制作装置及制作方法在审
| 申请号： | 201811151955.1 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109300811A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘彬 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显示面板的制作装置及制作方法。该显示面板的制作装置包括：蒸镀腔室、基板固定装置、加热装置和温控装置；所述基板固定装置设置于所述蒸镀腔室的腔室壁上，用于固定基板；所述加热装置设置于所述基板固定装置上，用于对所述基板加热；所述温控装置与所述加热装置电连接，用于控制所述加热装置将蒸镀有第一发光层的所述基板加热至第一预设温度，并持续第一预设时间后，将所述基板冷却至第二预设温度。本发明解决了现有的显示面板的制作装置制作出的显示面板存在寿命较短的问题，提升了第一发光层的稳定性，从而延长了显示面板的使用寿命以及降低了显示面板的功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 显示面板 加热装置 制作装置 基板固定装置 预设 基板加热 温控装置 蒸镀腔室 发光层 固定基板 基板冷却 使用寿命 电连接 腔室壁 功耗 蒸镀 制作 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板的制作装置，其特征在于，包括：蒸镀腔室；基板固定装置，设置于所述蒸镀腔室的腔室壁上，用于固定基板；加热装置，设置于所述基板固定装置上，用于对所述基板加热；温控装置，所述温控装置与所述加热装置电连接，用于控制所述加热装置将蒸镀有第一发光层的所述基板加热至第一预设温度，并持续第一预设时间后，将所述基板冷却至第二预设温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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