[发明专利]一种DMD多区域激光投影系统及曝光方法有效
| 申请号： | 201811151981.4 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109116686B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王新生 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种DMD多区域激光投影系统及曝光方法，包括DMD控制系统、光学系统、掩膜板、分图系统及运动控制系统，本发明在单个DMD上显示多个曝光图形，配合光学系统，把多个曝光图形映射到掩膜板的不同曝光区域进行曝光，整个系统可以使用单个DMD或多个DMD同时曝光，按此发明的方法曝光可以快速提高曝光整体时间，同时又节约DMD的物料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmd 区域 激光 投影 系统 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种DMD多区域激光投影系统，其特征在于：包括DMD控制系统、光学系统、掩膜板、分图系统及运动控制系统，所述DMD控制系统包括CPU控制单元和DMD控制电路，所述光学系统包括激光器和光学镜片模块，所述掩膜板包括化学膜和基板，所述运动控制系统由DMD台面、掩膜板台面、电机、导轨、运动平台控制器组成，所述分图系统、DMD控制系统、光学系统及掩膜板依次连接，所述分图系统控制运动平台控制器运动，所述DMD控制系统固定在DMD台面，所述掩膜板固定在掩膜板台面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州源卓光电科技有限公司，未经苏州源卓光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811151981.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种曝光方法及其曝光装置
- 下一篇：一种超分辨光刻的光生成器件
