[发明专利]基板传送机械手终端受动器

摘要

于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

主权项

1.一种用于支撑基板的装置，所述装置包括：支撑构件；和多个基板接触元件，所述多个基板接触元件由所述支撑构件突出，其中所述多个基板接触元件的每一个包括：第一接触表面，在基板放置于所述第一接触表面上时支撑所述基板；及第二接触表面，所述第二接触表面由所述第一接触表面延伸，其中所述第二接触表面邻近所述基板的周边以防止所述基板的径向移动，其中所述第一接触表面相关于所述支撑构件处于第一角度，且所述第二接触表面相关于所述支撑构件处于第二角度，其中所述第一角度介于约3度与5度之间，并且其中所述第二角度大于所述第一角度；及一个或更多个垫片，所述一个或更多个垫片设置于所述支撑构件与所述多个基板接触元件中的一或多个基板接触元件之间。