[发明专利]一种柔性基底薄膜体声波谐振器以及形成方法在审
| 申请号： | 201811154754.7 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109474253A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘伯华;张孟伦;杨清瑞;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性基底薄膜体声波谐振器以及形成方法，有助于提高器件的Q值，改善器件性能，并能降低器件加工制作的成本。本发明的柔性基底薄膜体声波谐振器包括：柔性基底、底部声反射层、以及谐振结构，其中：底部声反射层位于柔性基底之上；谐振结构位于底部声反射层之上。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基底 薄膜体声波谐振器 声反射层 谐振结构 降低器件 器件性能 制作 加工 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基底薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：柔性基底、底部声反射层、以及谐振结构，其中：所述底部声反射层位于所述柔性基底之上；所述谐振结构位于所述底部声反射层之上。
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