[发明专利]一种研磨、抛光机定盘平坦度的测试方法

摘要

本发明提供一种研磨、抛光机定盘平坦度的测试方法，包括：步骤一，采用一种用于定盘平坦度的测试装置进行测试，测试装置包括底座、支架、激光位移传感器、传感器位置控制系统、丝杆伺服机构、丝杆、导轨、计算机、处理软件和被测试的定盘；步骤二，调整支架高度，使激光位移传感器至定盘表面的距离4mm‑6mm；步骤三，调节激光位移传感器至定盘边缘，并设置此位置为R轴原点；步骤四，设置控制装置的采样速率、激光位移传感器横向移动速率和行程，并输入定盘转速；步骤五，设置定盘转速并启动定盘，待转速稳定之后启动装置开始采样；步骤六，待激光位移传感器移动至指定行程后，测试结束，数据结果包含每一个点的位置信息及相应高度值(R,θ,z)。

主权项

1.一种研磨、抛光机定盘平坦度的测试方法，其特征在于，包括：步骤一，采用一种用于定盘平坦度的测试装置进行测试，所述测试装置包括底座、支架、激光位移传感器、传感器位置控制系统、丝杆伺服机构、丝杆、导轨、计算机、处理软件和被测试的定盘；步骤二，调整支架高度，使激光位移传感器至定盘表面的距离4mm‑6mm；步骤三，调节激光位移传感器至定盘边缘，并设置此位置为R轴原点；步骤四，设置控制装置的采样速率、激光位移传感器横向移动速率和行程，并输入定盘转速；步骤五，设置定盘转速并启动定盘，待转速稳定之后启动装置开始采样；步骤六，待激光位移传感器移动至指定行程后，测试结束，数据结果包含每一个点的位置信息及相应高度值(R,θ,z)，并以Excel形式存储数据。