[发明专利]一种磁控溅射镀膜生产线在审
| 申请号： | 201811156007.7 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108914081A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 崔明培;余力;韩金保;龙甫强;苏龙庆;邝耀庭;刘思敏 | 申请（专利权）人： | 佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 528244 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种磁控溅射镀膜生产线，包括进片室，设于进片室出料端的进片缓冲室，设于进片缓冲室出料端的进片过渡室，设于进片过渡室出料端的镀膜室，设于镀膜室出料端的出片过渡室，设于出片过渡室出料端的出片缓冲室，及设于出片缓冲室出料端的出片室；所述镀膜室为若干个，且镀膜室内设置有若个干阴极旋转靶位、直流平面靶位。本发明的提供的磁控溅射镀膜生产线，可生产出具有良好的隔热、节能和耐候性能，可同时满足红外线高吸收/反射率，可见光高透过，紫外线高阻隔的产品，也可以生产建筑节能改造玻璃。 | ||
| 搜索关键词： | 出料 过渡室 缓冲室 出片 进片 磁控溅射镀膜 镀膜室 进片室 建筑节能改造 阴极 可见光 耐候性能 出片室 反射率 高阻隔 平面靶 旋转靶 红外线 隔热 紫外线 镀膜 节能 室内 玻璃 生产 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜生产线，其特征在于，包括进片室，设于进片室出料端的进片缓冲室，设于进片缓冲室出料端的进片过渡室，设于进片过渡室出料端的镀膜室，设于镀膜室出料端的出片过渡室，设于出片过渡室出料端的出片缓冲室，及设于出片缓冲室出料端的出片室；所述镀膜室为若干个，且镀膜室内设置有若个干阴极旋转靶位、直流平面靶位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司，未经佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811156007.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
