[发明专利]一种相位增强的光学强度检测方法和系统有效
| 申请号： | 201811156340.8 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109443704B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 万育航;郑铮;程孟璇 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京展翼知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11452 | 代理人： | 张阳 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种相位增强的光学强度检测方法和系统。该方法通过一个简单的偏振控制装置，对待测器件表面的折射率敏感的强度响应和相位响应进行控制和运算，将相位信息加载到实际可测的强度信号上。本发明通过定点测量相位增强的强度信号，在不增加系统复杂度的同时，可有效提高系统的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相位 增强 光学 强度 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种相位增强的光学强度检测方法，包括以下步骤：1)将窄谱光经过能产生完全偏振态的第一偏振控制器起偏，使其具有除S线偏振和P线偏振之外的一定偏振态；2)将具有上述一定完全偏振态的窄谱光以一定角度入射到待测器件表面，产生对待测器件表面折射率敏感且偏振态敏感的强度响应和相位响应；3)将从待测器件表面反射的光经过第二偏振控制器，使其在相互垂直的偏振方向上引入相位差；4)将经过第二偏振控制器的光经过第三偏振控制器进行检偏，将其投影到两个相互垂直的偏振方向；5)对上述两个相互垂直的偏振分量的分别进行检测，以及运算处理，获得相位增强的强度信息；6)根据上述获得的相位增强的强度信息得到被测样品的折射率信息。
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