[发明专利]晶圆撕膜机在审
| 申请号： | 201811156627.0 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110962436A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杨文桦 | 申请（专利权）人： | 东宸精密有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10;B65B69/00 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 钱凯 |
| 地址： | 中国台湾桃园市桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆撕膜机，包括：一机架，具有一工作平台；一治具盘，借一固定座设置于该工作平台上，而于该治具盘表面具有一晶圆嵌槽；一滑座，设置于一对滑轨而跨置于该治具盘上方，且将一滑移动力连接该滑座，该对滑轨与该滑移动力沿着该治具盘的外侧缘而固定于该工作平台上，并于该滑座设有数支压制滚筒，各该压制滚筒贴靠于该治具盘表面；一卷膜滚筒，设置于该滑座而设于位置居中的该压制滚筒上方，该卷膜滚筒外端具有一齿轮，该齿轮与一齿条搭配，该齿条沿着该治具盘的外侧缘而固定于该工作平台上；以及一操控单元，设置于该机架而控制该滑移动力的动作。借此，用以提供一种晶圆撕膜机，而具有避免撕膜造成晶圆破片且提升撕膜效率的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆撕膜机 | ||
【主权项】：
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