[发明专利]一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法在审
| 申请号： | 201811156719.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110967929A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王泽明;郑天祥;邓超略;高尊虎;黄文斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在本发明提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本发明结构简便，操作简单而且成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机光点 错位 扫描 时序 调整 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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