[发明专利]一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统在审
| 申请号： | 201811156791.1 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109030466A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王哲;侯宗余;李天奇;傅杨挺;俞建龙;顾炜伦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73;G01N21/71 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统，该系统含有脉冲激光器、聚焦透镜、待测样品、探头、光纤、光谱仪、计算机、ICCD相机以及可编程光束整形器；该光束整形器设置在脉冲激光器和聚焦透镜之间。激光束通过可编程光束整形器和聚焦透镜后照射到样品上并产生等离子体，由ICCD相机采集等离子体空间强度分布，通过调节可编程光束整形器的程序不断的改变光束空间强度分布，使得ICCD相机采集得到的等离子体空间强度分布呈现为均匀分布。此时，激光对待测样品的烧蚀量和等离子体光谱的稳定性均得到提高。本发明可使激光更有效、更均匀的烧蚀样品，从而降低了等离子体内部波动，对提高LIBS技术测量可重复性和准确性具有很重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 光束整形器 聚焦透镜 强度分布 可编程 等离子体 等离子体空间 激光击穿光谱 脉冲激光器 相机 测量系统 光束整形 烧蚀 激光 等离子体光谱 采集 光谱仪 待测样品 光束空间 技术测量 可重复性 激光束 探头 照射 光纤 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统，该系统含有脉冲激光器(1)、聚焦透镜(3)、待测样品(4)、探头(6)、光纤(7)、光谱仪(8)和计算机(9)，其特征在于：所述系统还包括ICCD相机(5)和一个能改变激光束剖面能量分布的可编程光束整形器(2)；所述可编程光束整形器(2)设置在脉冲激光器(1)和聚焦透镜(3)之间；ICCD相机(5)通过信号线与可编程光束整形器(2)连接；脉冲激光器(1)发出的激光束通过可编程光束整形器(2)和聚焦透镜(3)后作用在待测样品(4)上，产生等离子体(10)，由ICCD相机(5)采集等离子体空间强度分布，不断调整可编程光束整形器(2)的程序直至ICCD相机采集到的等离子体空间强度变为均匀分布；等离子体发出的光信号经探头(6)、光纤(7)和光谱仪(8)收集后，将光信号转换为电信号输入计算机(9)。
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