[发明专利]夹爪为光纤Fabry-Perot干涉仪且可夹持力自传感的微夹钳

摘要

本发明涉及夹爪为光纤Fabry‑Perot干涉仪且可夹持力自传感的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳的夹爪不能同时实现夹持部件和夹持力自传感的问题。其包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、F‑P解调仪、以及与执行器和F‑P解调仪连接的控制器，单片柔性机构包括：位移放大机构，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级分别对应连接有一个夹爪；微夹钳还包括：一个或两个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪，一个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪对应一个夹爪，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪包括：用于形成夹爪的夹持部以及用于形成对夹爪对待夹持部件进行夹持时产生的形变进行传感的夹持力传感部，第一光纤Fabry‑Perot干涉仪与F‑P解调仪连接。

主权项

1.夹爪为光纤Fabry‑Perot干涉仪且可夹持力自传感的微夹钳，包括：基座（1）、固定于所述基座（1）上的单片柔性机构（2）、安装于所述单片柔性机构（2）上开设的空腔内的执行器（3）、F‑P解调仪（4）、以及与所述执行器（3）和所述F‑P解调仪（4）连接的控制器，其特征在于，所述单片柔性机构（2）包括：位移放大机构（21），所述位移放大机构（21）的输入级（211）与所述执行器（3）相抵接，所述位移放大机构（21）的两个输出级（212）分别对应连接有一个夹爪；所述微夹钳还包括：一个或两个第一光纤Fabry‑Perot干涉仪，一个所述第一光纤Fabry‑Perot干涉仪对应一个夹爪，所述第一光纤Fabry‑Perot干涉仪包括：用于形成所述夹爪的夹持部以及用于形成对所述夹爪对待夹持部件进行夹持时产生的形变进行传感的夹持力传感部，所述第一光纤Fabry‑Perot干涉仪与所述F‑P解调仪（4）连接；在所述控制器控制所述执行器（3）在第一方向推动所述位移放大机构（21）的输入级（211）时，所述位移放大机构（21）的输入级（211）将所述执行器（3）在所述第一方向上推动产生的运动位移转换为第二方向上的运动位移，并经由所述位移放大机构（21）的输出级（212）传递至所述夹爪位置处，使两个所述夹爪闭合，对待夹持部件进行夹持；所述第一方向与所述第二方向在水平方向上相垂直。