[发明专利]一种晶圆表面光强分布的快速获取方法及装置

摘要

本申请公开了一种晶圆表面光强分布的快速获取方法及装置，通过将频域上的光源函数以及频域上的光瞳函数，分别投影到Fourier‑Bessel正交基函数上，获取光源函数的频域投影系数以及光瞳函数的频域投影系数。然后根据Fourier‑Bessel正交基函数与Circle‑Bessel正交基函数之间的变换关系，获取光源函数的空间域投影系数以及光瞳函数的空间域投影系数。接着，获取第一组预计算数据集，并根据所述第一组预计算数据集，获取交叉传递函数。然后，根据获取的第二组预计算数据集、交叉传递函数、第一组预计算数据集、光源函数的空间域投影系数以及光瞳函数的空间域投影系数，获取核函数的投影系数。最后，根据核函数的投影系数以及所获取的第三组预计算数据集，获取晶圆表面的光强分布。

主权项

1.一种晶圆表面光强分布的快速获取方法，其特征在于，包括：将频域上的光源函数以及频域上的光瞳函数，分别投影到Fourier‑Bessel正交基函数上，并获取所述光源函数的频域投影系数以及所述光瞳函数的频域投影系数，其中，所述Fourier‑Bessel正交基函数是频域上的一组基函数；根据Fourier‑Bessel正交基函数与Circle‑Bessel正交基函数之间的变换关系、所述光源函数的频域投影系数以及所述光瞳函数的频域投影系数，获取空间域上的光源函数、空间域上的光瞳函数、所述光源函数的空间域投影系数以及所述光瞳函数的空间域投影系数，其中，所述Circle‑Bessel正交基函数是空间域上的一组基函数；根据所述Circle‑Bessel正交基函数，获取第一组预计算数据集，并根据所述第一组预计算数据集、所述空间域上的光源函数以及所述空间域上的光瞳函数，获取空间域上的交叉传递函数；根据所述Circle‑Bessel正交基函数，获取第二组预计算数据集，并根据所述第一组预计算数据集、所述第二组预计算数据集、所述交叉传递函数、所述光源函数的空间域投影系数以及所述光瞳函数的空间域投影系数，获取核函数的投影系数；获取掩模版的图形函数，并根据所述掩模版的图形函数，获取第三组预计算数据集；根据所述核函数的投影系数以及所述第三组预计算数据集，获取晶圆表面的光强分布。