[发明专利]利用光纤Fabry-Perot干涉仪测量夹持力和夹爪位移的微夹钳

摘要

本发明涉及一种利用光纤Fabry‑Perot干涉仪测量夹持力和夹爪位移的微夹钳，以解决现有技术中的微夹钳不能同时对夹持力和夹爪位移进行精确测量的问题。其技术方案包括：基座、固定于基座上的单片柔性机构、安装于单片柔性机构上开设的空腔内的执行器、控制器与、控制器连接的F‑P解调仪，以及与F‑P解调仪连接的光纤Fabry‑Perot复用传感器，单片柔性机构包括：位移放大机构、对称设置的两个夹持力传感机构以及对称设置的两个夹爪，位移放大机构的输入级与执行器相抵接，位移放大机构的两个输出级、两个夹持力传感机构和两个夹爪一一对应，且位移放大机构的输出级、夹持力传感机构和夹爪依次连接。