[发明专利]基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置及成像方法在审
申请号: | 201811158366.6 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109115723A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 苏胜飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 官建红 |
地址: | 518102 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光电子技术领域,提供一种基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置及采用该光学相干层析成像装置的基于数字微镜设备的光学相干层析成像方法,包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂、微镜控制机、探测器以及计算机,光纤耦合器用以接收所述宽带光源发出的光并将其分成参考光和样品光,样品臂包括用于反射样品光的数字微镜设备,该数字微镜设备具有上百万个微小的反射镜,每一反射镜均扫描完成后即可得到样品的三维信息;该结构简单易实现,避免了利用光学扫描头产生的扫描误差,通过数字微镜设备的纯数字化信号控制,提高了样品扫描成像结果的稳定性和精确度;光学相干层析成像方法控制简单易操作,样品成像效率高。 | ||
搜索关键词: | 数字微镜设备 光学相干层析成像装置 光学相干层析成像 光纤耦合器 宽带光源 反射镜 样品臂 样品光 光电子技术领域 光学扫描头 数字化信号 成像结果 方法控制 三维信息 扫描误差 微镜控制 样品成像 样品扫描 参考臂 参考光 探测器 成像 反射 扫描 计算机 | ||
【主权项】:
1.基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置,用于样品的成像,其特征在于,包括:宽带光源;光纤耦合器,用以将所述宽带光源发出的光分成参考光和样品光并分别送出;参考臂,用以接收、准直所述参考光并使得准直后的参考光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的参考回光,包括用以接收并准直所述参考光的第一准直透镜和用以使准直后的参考光朝向所述第一准直透镜反射的反射镜,所述参考回光与所述参考光于所述第一准直透镜处耦合;样品臂,用以接收、准直所述样品光并将准直后的样品光反射至所述样品表面进而使到达所述样品表面的样品光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的样品回光,所述参考回光与所述样品回光于所述光纤耦合器中发生干涉;所述样品臂包括用以使准直后的样品光朝向所述样品反射的数字微镜设备;微镜控制机,用以控制所述数字微镜设备开关;探测器,其与所述光纤耦合器相连接;以及计算机,其与所述探测器相连接。
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