[发明专利]扫描探针针尖的制备装置

摘要

本申请提供一种扫描探针针尖的制备装置，通过所述第一密封板与所述第二密封板对所述反应器进行密封，可以为制备扫描探针提供一个密闭环境。并且，所述反应器的管壁周围设置有冷淋结构，用以确保所述反应器内的温度恒定。所述扫描探针针尖的制备装置通过所述电极、所述电源控制模块以及所述采样电阻，可以实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的所述探针前躯体移出所述电腐蚀液，即可获得扫描探针。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需扫描探针，重现性好，针尖形貌及关键尺寸精确可控。