[发明专利]一种智能气体压力传感器及其零点校准方法在审
申请号: | 201811163129.9 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109282938A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 方果;杨格;王海峰;毛伯付;高仁杰;尹定红 | 申请(专利权)人: | 深圳电通纬创微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01L19/02 | 分类号: | G01L19/02;G01L27/00 |
代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 吴雅丽 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种智能气体压力传感器及其零点校准方法,压力传感器包括电路板、传感器膜片、压力检测气路和通气气路,所述传感器膜片设置在电路板上,所述通气气路和压力检测气路分别作用于传感器膜片的正背二面,所述压力检测气路上设有三通阀,靠近压力检测气路进气端的为三通阀的第一端,远离压力检测气路进气端的为三通阀的第二端,三通阀的第三端与通气气路连接,所述三通阀与电路板电连接,具有二个工作状态,一是关闭三通阀的第一端,并使第二端与第三端连通,二是关闭三通阀的第三端,并使第一端与第二端连通。本发明增加了三通阀,实现了气体压力传感器自动校零,从而避免零点误差累计,解决气体压力传感器零点漂移的问题。 | ||
搜索关键词: | 三通阀 压力检测 气体压力传感器 气路 电路板 传感器膜片 通气气路 第一端 零点校准 进气 连通 压力传感器 零点漂移 零点误差 自动校零 智能 电连接 | ||
【主权项】:
1.一种智能气体压力传感器,包括电路板、传感器膜片、压力检测气路和通气气路,所述传感器膜片设置在电路板上,所述通气气路和压力检测气路分别作用于传感器膜片的正背二面,其特征在于,所述压力检测气路上设有三通阀,靠近压力检测气路进气端的为三通阀的第一端,远离压力检测气路进气端的为三通阀的第二端,三通阀的第三端与通气气路连接,所述三通阀与电路板电连接,具有二个工作状态,一是关闭第一端,并使第二端与第三端连通,二是关闭第三端,并使第一端与第二端连通。
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