[发明专利]组合簧片及其设计方法、运动台有效
| 申请号： | 201811163279.X | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110966330B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 卢彧文;杨铁刚;王理华;邓雄 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16F3/02 | 分类号： | F16F3/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种组合簧片及其设计方法、运动台，该组合簧片包括多个圆环状的簧片，以及连接在相邻簧片之间的圆环状的连接件，所述簧片和连接件的内环尺寸相同，所述多个簧片的外环尺寸相同，所述连接件的外环尺寸小于所述簧片的外环尺寸。本发明的运动台，包括：组合簧片、垂向驱动单元、微动单元、微动支撑板、气足板、气浮内环和气浮外环。本发明可根据旋转刚度需求适应性改变组合簧片中簧片和簧片的间距及簧片厚度，可以单独增大或减小组合簧片的水平刚度、垂向刚度及旋转刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 簧片 及其 设计 方法 运动 | ||
【主权项】：
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