[发明专利]一种产生单电荷态的混合气体团簇离子束的方法和装置有效
| 申请号： | 201811165407.4 | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN109256322B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·托斯托古佐夫;瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;左文彬;付德君 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/16;H01J49/06;G01N27/62 |
| 代理公司： | 42214 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人： | 邱琳 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种产生单电荷态的混合气体团簇离子束的方法，首先产生掺杂离子和中性团簇，然后在电场中相互作用产生单电荷态的混合气体团簇离子束。本发明同时提供了一种产生单电荷态的混合气体团簇离子束的装置，包括电解质溶液储蓄池，所述电解质溶液储蓄池连接有环形狭缝发射器，距环形狭缝发射器的孔口一侧设置有环形引出电极，环形狭缝发射器的孔口另一侧设有金属喷嘴，环形狭缝发射器的孔口与喷嘴之间设有光阑，电解质溶液储蓄池和引出电极分别与第一高压电源和第二高压电源连接。本发明在没有使用任何其他装置电离产生团簇离子的情况下获得各种组分混合的单电荷气体团簇离子(正负离子均可产生)，能应用于现代微纳电子学领域。 | ||
| 搜索关键词： | 团簇 发射器 单电荷态 环形狭缝 混合气体 离子束 电解质溶液 储蓄池 孔口 高压电源 引出电极 气体团簇离子 方法和装置 电场 掺杂离子 金属喷嘴 纳电子学 其他装置 正负离子 组分混合 喷嘴 单电荷 电离 光阑 离子 应用 | ||
【主权项】：
1.一种产生单电荷态的混合气体团簇离子束的方法，其特征在于包括以下步骤：/n(1)引出掺杂离子和中性团簇：向电解质溶液施加不小于9kV的第一电压U
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