[发明专利]晶棒单线开方机及其使用方法在审
申请号: | 201811165871.3 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109676812A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;张航;卢嘉彬;邱文杰;陈志聪;马旭 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 朱莹莹 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅单棒开方机及其使用方法。一种晶棒单线开方机,机架上依次安装有晶向检测装置的晶向检测区,安装有储料台装置的储料区,及安装有开方装置和边皮取料装置的晶棒开方区;机架在储料区与晶棒开方区侧边设有机架导轨,机架导轨上设有将储料区的单晶硅棒送至检测区检测,然后送至开方区开方,并由边皮取料装置将切割后边皮料回收的机械手装置,机械手装置可沿机架导轨在储料区与晶棒开方区之间左右移动;机械手装置安装于机架导轨上,并通过机械手横向移动装置在机架上水平移动;机械手可通过水平进给装置在在机架上进行进给移动;可通过竖直移动装置进行竖直方向移动。本发明能实现自动化单晶硅棒开方作业,提高效率并节省人工成本。 | ||
搜索关键词: | 开方 机架导轨 储料区 晶棒 机械手装置 开方机 单晶硅棒 取料装置 机械手 检测区 晶向 单线 横向移动装置 竖直方向移动 竖直移动装置 水平进给装置 单晶硅 检测装置 人工成本 左右移动 储料台 侧边 皮料 种晶 切割 自动化 行进 回收 检测 移动 | ||
【主权项】:
1.一种晶棒单线开方机,包括机架,其特征在于:机架上依次分布安装有晶向检测装置的晶向检测区,安装有储料台装置的储料区,及安装有开方装置和边皮取料装置的晶棒开方区;机架在储料区与晶棒开方区侧边设有机架导轨,机架导轨上设有将储料区的单晶硅棒送至检测区检测,然后送至开方区开方,并由边皮取料装置将切割后边皮料回收的机械手装置,机械手装置可沿机架导轨在储料区与晶棒开方区之间左右移动;机械手装置安装于机架导轨上,并通过机械手横向移动装置在机架上水平移动;机械手可通过水平进给装置在在机架上进行进给移动;可通过竖直移动装置进行竖直方向移动。
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