[发明专利]一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201811166187.7 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110026826A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;谢龙辉;卢嘉彬;周建灿;张晟明;陈德洋 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06;B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 朱莹莹 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备及其使用方法，本发明提供了一种全自动单晶硅棒切方磨削一体加工的设备，把圆棒通过切方、边角磨削和平面磨削一体加工成方棒，能够有效解决现有技术中的问题，在提高硅棒加工的效率、降低硅棒加工的成本、提升晶棒尺寸精度的同时又能减少设备的种类和数量，节省厂房面积，节约人力和物流成本。本申请可以使得切方组件和磨削组件相互独立工作互相不干涉，提高加工效率；此外，切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 切方 单晶硅棒 磨削 复合加工 硅棒加工 加工效率 一体加工 一体设备 磨削动力头 对称布局 减少设备 磨削组件 双面加工 物流成本 有效解决 面磨削 边角 晶棒 切磨 圆棒 厂房 干涉 节约 申请 | ||
【主权项】：
1.一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备，包括底架，安装在底架上的机械手组件、切方工作台、磨削工作台，其特征在于：切方工作台和磨削工作台相互独立，可以同时进行单晶硅棒的切方和磨削复合加工；机械手组件包括专用于切方工作台和磨削工作台上晶棒的上料、中转及下料操作的部分。
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