[发明专利]激光振荡器

摘要

提供一种相比于现有技术能够进行用于在保持经济性的同时使发光元件保持更长的寿命的结露应对的激光振荡器。激光振荡器具备：激光产生部；热交换器；冷却水旁通回路；冷却水回路，与激光产生部、热交换器及冷却水旁通回路连接；壳体，收纳激光产生部、热交换器、冷却水旁通回路和冷却水回路；冷却水循环部，利用冷却水回路使冷却水循环到激光产生部、热交换器和冷却水旁通回路；第一阀，调整向激光产生部供给的冷却水的流量；第二阀，调整向热交换器供给的冷却水的流量；第三阀，调整向冷却水旁通回路供给的冷却水的流量；露点测定部，测定壳体内部的露点；水温测定部，测定冷却水的水温；控制部，基于露点和水温来控制第一阀、第二阀和第三阀。

主权项

1.一种激光振荡器，具备：激光产生部；热交换器，其利用冷却水来冷却周围；冷却水旁通回路；冷却水回路，其与所述激光产生部、所述热交换器及所述冷却水旁通回路连接；壳体，其收纳所述激光产生部、所述热交换器、所述冷却水旁通回路以及所述冷却水回路；冷却水循环部，其利用所述冷却水回路来使所述冷却水循环到所述激光产生部、所述热交换器以及所述冷却水旁通回路；第一阀，其调整向所述激光产生部供给的所述冷却水的流量；第二阀，其调整向所述热交换器供给的所述冷却水的流量；第三阀，其调整向所述冷却水旁通回路供给的所述冷却水的流量；露点测定部，其测定所述壳体内部的露点；水温测定部，其测定所述冷却水的水温；以及控制部，其基于所述露点和所述水温来控制所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀。