[发明专利]一种金属表面微结构电解加工装置

摘要

本发明公开了一种金属表面微结构电解加工装置，属于电解加工领域。该装置包括电解槽、固定于电解槽底部中心位置的阳极夹具、工具阴极、阴极盖板、密封圈和压紧机构。电解槽两侧侧壁对称地设置两个出液口；工具阴极上设有用于电解液通过的通孔群；工具阴极上表面与阴极盖板紧密贴合，二者贴合后的外轮廓中间部分形成沟槽，密封圈装配在沟槽中；阴极盖板和工具阴极外侧与电解槽内壁间隙配合，密封圈外圈与电解槽内壁紧密贴合；工具阴极与工件阳极之间的间隙填充绝缘粒子；压紧机构采用调节支撑板上螺栓的高低来保证工具阴极和工件阳极的平行以及绝缘粒子的压紧。此装置避免了掩膜制造的难题，且工艺成本低，加工质量高，易于实现。

主权项

1.一种金属表面微结构电解加工装置，包括电解槽（1）、固定于电解槽（1）底部中心位置的阳极夹具（2）、工具阴极（6）、阴极盖板（7）、密封圈（11）和压紧机构，其特征在于：所述的电解槽（1）两侧侧壁对称地设置有两个出液口（4）；所述的阳极夹具（2）上表面设有用于工件阳极（3）嵌合的卡槽，工件阳极（3）安装在卡槽内；所述的工具阴极（6）背面设有用于电解液配流的凹槽，凹槽处设有用于电解液通过的通孔群；所述的阴极盖板（7）与工具阴极（6）背面紧密贴合，所述的密封圈（11）装配在工具阴极（6）和阴极盖板（7）贴合后形成的外轮廓沟槽中；所述的阴极盖板（7）和工具阴极（6）外侧与电解槽（1）内壁间隙配合，密封圈（11）外圈与电解槽（1）内壁紧密贴合；所述的工具阴极（6）和工件阳极（3）之间的间隙填充绝缘粒子（12）；所述的压紧机构包括螺栓（9）和支撑板（8）。