[发明专利]一种通过二步快速热退火制备氧化钒薄膜的方法在审
| 申请号： | 201811173112.1 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109182974A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 梁继然;杨治彬;赵一瑞;郭津榜 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 琪琛 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种通过二步快速热退火制备氧化钒薄膜的方法，采用磁控溅射的方法沉积金属钒薄膜，然后在快速退火炉中分两步进行热处理，在整个制备过程中没有其他物质的掺杂，仅改变退火参数，然后通过四探针电阻测试系统对制备的薄膜进行表征。通过先溅射钒金属薄膜，再二步快速热退火的方法制备的氧化钒薄膜，能在降低氧化钒薄膜相变温度的同时提高相变幅度，并且工艺条件简单，所需要的制备周期较短，很易于控制。 | ||
| 搜索关键词： | 快速热退火 薄膜 制备氧化钒薄膜 氧化钒薄膜 制备 快速退火炉 热处理 测试系统 沉积金属 磁控溅射 工艺条件 探针电阻 退火参数 制备过程 制备周期 钒金属 溅射 掺杂 | ||
【主权项】：
1.一种通过二步快速热退火制备氧化钒薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)蓝宝石基底的清洗：首先将蓝宝石放在丙酮溶液中超声清洗，然后取出再放入无水乙醇中超声清洗，然后用去离子水洗净，以去除蓝宝石表面的各种杂质，最后，将洗干净的蓝宝石基底放在无水乙醇中备用；(2)金属钒薄膜的沉积：将(1)中洗干净的蓝宝石烘干，放入DPS‑Ⅲ型超高真空直流对靶磁控溅射设备的真空室，首先进行预溅射，然后进行溅射，在蓝宝石基底表面沉积钒金属薄膜；将沉积好的金属钒薄膜放在样品盒中备用；(3)氧化钒薄膜的制备将(2)中沉积好的金属钒薄膜放在快速退火炉中进行快速热处理以形成氧化钒；在退火时，使用二步快速热退火的方法，先经过7.5s升温至375℃保持65s，然后经过1.5s升温至450℃，保持130‑170s；所有样品的降温时间均为100‑200s。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811173112.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防腐镀层的制备方法
- 下一篇：一种能够快速更换蒸镀源的OLED蒸镀设备
- 同类专利
- 专利分类
