[发明专利]一种压力传感装置、制备方法和压力传感系统有效
| 申请号： | 201811173987.1 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111024281B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 孟凡;安青青;张同伟 | 申请（专利权）人： | 中国移动通信集团设计院有限公司;中国移动通信集团有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王庆龙;李相雨 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例公开了一种压力传感装置、制备方法和压力传感系统，该压力传感装置的第一薄膜集成结构和第二薄膜集成结构之间通过垫片支撑形成谐振腔。压力传感装置受到按压时，施加按压区域的谐振腔的腔长发生变化，影响第一薄膜集成结构和第二薄膜集成结构中的条形电路对光的吸收，进而影响条形电路中的光电流，实现压力信号到电信号的转换。本发明提供了一种通过谐振腔实现压力信号到电信号转换的实现原理，基于该实现原理提供了一种由简单的层结构组成的压力传感装置。另一方面，通过调节条形电路层中条形线路的条数，改变由条形电路层投影形成的网状图案的网格密集程度，从而可以对压力传感装置的器件灵敏度进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 传感 装置 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
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