[发明专利]一种声表面波的可视化检测器件及应用在审
| 申请号： | 201811175702.8 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109341840A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张杨 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种声表面波的可视化检测器件及应用。所述器件包括：压电衬底、N个叉指换能器和应力发光薄膜；叉指换能器形成于压电衬底上表面外围四周，应力发光薄膜形成于压电衬底上表面，且位于叉指换能器围成区域的中心位置。该器件能够原位实时地检测声表面波的传播特性，解决了当前的声表面波检测方法面临测试仪器精密昂贵，运行费用高，对环境振动敏感，检测费时费力，不能原位实时快速检测等诸多问题。本发明提供的可视化检测器件可用于声表面波微驱动器、声表面波微流控器件或声表面波传感器等。对于声表面波在微驱动领域的应用具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波 叉指换能器 可视化检测 压电衬底 发光薄膜 上表面 检测 声表面波传感器 应用 微流控器件 测试仪器 传播特性 环境振动 快速检测 微驱动器 运行费用 重要意义 微驱动 可用 费力 精密 外围 敏感 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波的可视化检测器件，包括：压电衬底、叉指换能器、应力发光薄膜；其中，所述叉指换能器的数量为N个，N大于等于2；所述叉指换能器间隔形成于压电衬底上表面外围四周；所述应力发光薄膜形成于压电衬底上表面，且位于所述叉指换能器围成区域的中心位置。
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