[发明专利]具有多个金属层的阵列垂直腔表面发射激光器有效
| 申请号： | 201811176651.0 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109672085B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | E.R.黑格布洛姆 | 申请（专利权）人： | 朗美通经营有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学装置可以包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的阵列，其具有设计波长，每一个VCSEL具有发射区域。光学装置可以包括基本上覆盖阵列的第一金属层、基本上覆盖第一金属层的第二金属层、和在第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层，该电绝缘层包括用于将第一金属层的一些部分与第二金属层的一些部分电连接的过孔。光学装置可以包括设置在每一个VCSEL的发射区域上方的电介质。至少约90％的电介质区域中电介质的厚度变化可以小于设计波长的约2％。发射区域周围的井部的深度可以等于发射区域宽度的至少约10％。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属 阵列 垂直 表面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，包括：垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的阵列，其具有设计波长，每一个VCSEL具有发射区域；第一金属层，基本上覆盖该阵列，第一金属层包括用于每一个发射区域的开口；第二金属层，基本上覆盖第一金属层；在第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层，该电绝缘层包括用于将第一金属层的一些部分与第二金属层的一些部分电连接的过孔；和电介质，设置在每一个VCSEL的发射区域上方，在每一个发射区域上方的电介质具有厚度和区域，其中至少约90％的电介质区域中的电介质的厚度变化小于设计波长的约2％，且其中至少通过周围每一个VCSEL的发射区域的第一金属层形成的井部的深度等于发射区域宽度的至少约10％。
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