[发明专利]用以接合衬底的装置及方法有效
| 申请号： | 201811176956.1 | 申请日： | 2013-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN109591424B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | B32B37/00 | 分类号： | B32B37/00;B32B37/10;B32B37/18;B32B38/18;H01L21/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 接合 衬底 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用以将第一衬底(3)和第二衬底(8)在衬底(3、8)的接触表面(3k、8k)上接合的方法，其具有以下步骤：‑在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)，‑在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)，‑沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合，其特征在于：所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)经变形以在所述接合之前和/或在接合期间使所述接触表面(3k、8k)在所述接合起始位点(20)外对准，以及在所述第二接纳设备(4)上在所述第二接纳表面(2o')和所述第二衬底(8)之间插入加强板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司，未经EV集团E·索尔纳有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811176956.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可降解TPU发泡层贴棉台布
- 下一篇：芯板复合生产线
