[发明专利]感测膜及其制备方法、电子装置有效
| 申请号： | 201811177948.9 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109326709B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 陈右儒;许建智 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/187;H01L41/29;H01L41/35 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种感测膜，其包括：基底层；形成在所述基底层上的压电层；以及形成在所述压电层上的梳状的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极彼此间隔且电性绝缘。本发明还提供上述感测膜的制备方法及应用上述感测膜的电子装置。所述感测膜性能优良。 | ||
| 搜索关键词： | 感测膜 及其 制备 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种感测膜，其特征在于，包括：基底层；形成在所述基底层上的压电层；以及形成在所述压电层上的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极彼此间隔且电性绝缘，所述第一电极和所述第二电极均为梳状的，所述第一电极包括第一连接部以及与所述第一连接部分别连接的多个第一梳齿部；所述第二电极包括第二连接部以及与所述第二连接部分别连接的多个第二梳齿部；所述第一连接部与所述第二连接部相对设置且彼此间隔；所述多个第一梳齿部均连接所述第一连接部靠近所述第二连接部的一侧；所述多个二梳齿部均连接所述第二连接部靠近所述第一连接部的一侧；所述第一梳齿部与所述第二梳齿部沿所述第一连接部与所述第二连接部的延伸方向交替排布。
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